日前，据媒体报道中芯国际进口的荷兰ASML光刻机顺利入厂，到货的是DUV光刻机，并非EUV。据悉作为国内最大最先进的晶圆代工厂，中芯国际此次购买光刻机，主要是用于企业复工后的生产线扩容。
根据相关分析师预计，中芯国际在芯片生产线全面扩容后，也将会满足更多国产芯片设计企业的芯片制造需求，随着以中芯国际为龙头的芯片制造企业的不断发力，国产芯片自主研发不断取得新突破。
据了解，中芯国际将在2020年进一步扩大14nm芯片产能，以满足华为14nm芯片的超级大订单。根据中芯国际CEO梁孟松表示，14nm工艺（包含改进型的12nm工艺）芯片预计2020年底将达到月产15000片。
虽然台积电目前已经实现7nm和5nm的芯片量产，但全球芯片市场的主流依旧停留在14nm到7nm之间，尤其是14nm工艺芯片的制造。除了中芯国际之外，上海华虹集团也透露其14nm FinFET工艺也全线贯通，SRAM良率已达25%。
随着国产芯片在14nm上的突破，并在国际领域占据一席之地，进一步说明国产芯片技术水平的提高，而光刻机作为集成电路制造中最关键的设备，对于芯片制作工艺起着决定性作用。中芯国际ASML光刻机的引入，进一步突破产业限制，对扩大生产规模将有重大推动意义。